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特氣、GC特氣柜和特氣系統等常見(jiàn)相關(guān)問(wèn)題大匯總!

特氣、GC特氣柜和特氣系統等常見(jiàn)相關(guān)問(wèn)題大匯總!

發(fā)布時(shí)間:2021-03-11
氣體應用系統工程行業(yè)雖然是一個(gè)小眾行業(yè),但它在現代工業(yè)中也是不可或缺的一部分,其工程覆蓋半導體、集成電路、光纖、太陽(yáng)能電池、生物醫藥、食品安全、實(shí)驗科研等多個(gè)高新技術(shù)領(lǐng)域。其中特氣系統是一個(gè)非常重要的組成部分,因為篇幅有限,今天小編就先帶大家了解一下特氣、特氣柜和特氣系統吧!1.什么是特氣?特氣,又名特種氣體,是一種基礎化工原料,大多是易燃易爆、有毒、有腐蝕性、純度特別高(超過(guò)99.999%)的氣體,用來(lái)滿(mǎn)足特定需求如芯片制程等。至于如何界定屬不屬于特氣范疇,對于我們行業(yè)內來(lái)說(shuō),主要看的是純度。2.特氣的分類(lèi):特種氣體(Specialtygases)門(mén)類(lèi)繁多,通??蓞^分為電子氣體,標準氣,環(huán)保氣,醫用氣,焊接氣,殺菌氣等。3.關(guān)于特氣的純度,5N/6N是什么意思?5N:99.999% ,氣體純度達到5個(gè)nine;6N:99.9999% ,氣體純度達到6個(gè)nine。4.特氣的使用危險性大不大?廣泛上來(lái)說(shuō)危險性很大,因為特種氣體大多是危險性氣體,如高純氯氣CL2擁有劇毒性,人體吸入過(guò)量高純氯氣會(huì )引起呼吸道損傷,嚴重時(shí)會(huì )引起急性肺水腫,搶救不當可能會(huì )造成窒息死亡。但是只要你的技術(shù)過(guò)硬,經(jīng)驗足夠,按照規定的操作規范進(jìn)行安全操作一般問(wèn)題不大,這也是為什么特氣系統工程的安裝公司需要資質(zhì)的原因。5.什么是GC特氣柜?GC特氣柜是專(zhuān)為易燃易爆、腐蝕性、毒性等危險特種氣體供應而設計的供應系統設備,主要用于特種氣體的高純度安全穩定輸送。6.特氣柜的種類(lèi)特氣柜按類(lèi)別分全自動(dòng)、半自動(dòng)和手動(dòng)操作。其中全自動(dòng)GC特氣柜按功能設計可分為 單鋼瓶(1process)/ 雙鋼瓶( 2 Process ) / 三鋼瓶(2 Process + 1 N2) 氣瓶柜內的鋼瓶數設計可分為三種:分別為單鋼瓶、雙鋼瓶、三鋼瓶。(1) 單鋼的設計通常使用于研究機構或實(shí)驗室等。工藝制程尚未有量產(chǎn),氣體使用量小,現場(chǎng)可隨時(shí)協(xié)調停機進(jìn)行鋼瓶之更換,其優(yōu)點(diǎn)節省空間、成本低、但需透過(guò)日常之管理與協(xié)調以免中斷工藝制程造成損失。 (2) 雙鋼與三鋼常用于量產(chǎn)工廠(chǎng),工藝制程不允許停機情況,當一支鋼瓶使用完后,另一支備用鋼瓶(stand by)會(huì )自動(dòng)轉為供氣,此兩種形式最大的差別是在purge管路的純化氮氣是以鋼瓶或廠(chǎng)務(wù)端供應,當purge用的PN2統一由廠(chǎng)務(wù)端來(lái)供應時(shí),所有特殊氣體供應系統不管是否相容,全部連接到同一個(gè)供應源,會(huì )有較高的風(fēng)險值;萬(wàn)一中央供應系統的PN2中斷,警報系統又損壞,恰巧兩種不相容的氣體同時(shí)使用purge,此時(shí)極有可能發(fā)生爆炸的事件發(fā)生,相同性質(zhì)可使用同一瓶鋼瓶來(lái)purge增加的成本及空間非常有限,是一種非常好的應變方式。 (3) 三鋼氣柜成本不會(huì )差很多安全性會(huì )是最好的,只要空間允許應最優(yōu)先選擇。7.全自動(dòng)特氣柜的功能作用全自動(dòng)特氣柜(Gas Cabinet )基本功能包括自動(dòng)吹掃、自動(dòng)切換以及緊急情況下的自動(dòng)安全切斷(當設定報警信號被觸發(fā)時(shí))。采用PLC控制,觸控屏為人機界面,通過(guò)設備安裝的壓力傳感器、氣動(dòng)閥、過(guò)流量計等裝置,實(shí)現設備安全有效的運行。其內部PLC程式設計的安全聯(lián)鎖功能和高純閥件的合理選擇和布局,既滿(mǎn)足了半導體工藝生產(chǎn)過(guò)程中對特殊氣體連續供給和高純度的要求,同時(shí)也確保了工廠(chǎng)正常生產(chǎn)和員工人身安全。8.特氣柜與普通氣瓶柜的區別?因特種氣體的特殊性,承載特種氣體的氣瓶柜體須為防爆柜體,同時(shí)為保證半導體制程工藝中特種氣體的穩定供氣和安全,應具備多種功能,如柜內氣體泄漏偵測報警、PLC面板控制、全自動(dòng)吹掃等,提高使用安全系數,有效的保護生產(chǎn)安全和人員的生命安全。其次,半導體行業(yè)配置電子特氣柜需要擁有SEMI S2認證。9.特氣柜的SEMI S2認證重要嗎?SEMI S2的對象是針對半導體制程設備的,是關(guān)于環(huán)境、健康、安全方面的標準,也即為EHS標準,因為半導體行業(yè)涉及到很多特種氣體、化學(xué)品及電氣、游離及非游離的輻射,如果處理不好,下游用戶(hù)在使用的時(shí)候就很容易導致事故甚至災難,因此對設備廠(chǎng)商的設備產(chǎn)品如電子特氣柜,擁有SEMI S2認證就顯得極端重要。10.那有SEMI S2認證,功能齊全的特氣柜在哪可以買(mǎi)到呢?深圳沃飛科技有限公司專(zhuān)業(yè)從事氣體應用十多年,施工資質(zhì)齊全,經(jīng)驗豐富,不斷創(chuàng )新,擁有多項專(zhuān)利發(fā)明,其中自主研發(fā)設計全自動(dòng)特氣柜,配置功能齊全,擁有SEMI S2認證。11.特氣系統是什么?特種氣體的儲存、輸送與分配過(guò)程的設備、管道和部件都總稱(chēng)則稱(chēng)為特氣系統,是用于實(shí)現特氣安全使用的氣體系統工程。12.特氣系統的組成部分:特氣系統由供氣端(CF4是氣體鋼瓶供氣)、GC特氣柜/GR特氣架、氣體閥門(mén)分配箱VMB/VMP、耐腐蝕的316L EP不銹鋼管道和氣體監測報警系統等組成。13.特氣系統的功能特點(diǎn):特氣系統中的每臺設備均配有PLC控制、彩色觸摸屏操作,帶有溫度、壓力、煙霧、泄漏監控報警,并可擴展地震監控報警;單臺設備可以獨成系統獨立運轉,也可多臺設備用PLC或TGO連起來(lái)組成大系統,在監控中心統一監控管理,其報警系統還可以與安監系統、消防系統對接?! ?4.特氣系統的應用領(lǐng)域?電子特種氣體是光電子、微電子等領(lǐng)域,特別是超大規模集成電路、液晶顯示器件、非晶硅薄膜太陽(yáng)能電池、半導體發(fā)光器件和半導體材料制造過(guò)程不可缺少的基礎性支撐源材料。它的純度和潔凈度直接影響到光電子、微電子元器件的質(zhì)量、集成度、特定技術(shù)指標和成品率,并從根本上制約著(zhù)電路和器件的精確性和準確性。15.特氣系統安裝的費用貴不貴?這個(gè)主要看您的使用需求和工藝需求來(lái)實(shí)時(shí)設計報價(jià)的,深圳沃飛科技是提供從技術(shù)咨詢(xún)、整體規劃、系統設計、選定設備、預制組件、項目現場(chǎng)安裝建設、整體系統檢測等全套工程技術(shù)服務(wù)和配套產(chǎn)品銷(xiāo)售于一體的。具體的價(jià)格歡迎咨詢(xún)我們。聯(lián)系電話(huà):0755-27919860以上,便是氣體應用系統工程行業(yè)中特氣系統的一些常見(jiàn)問(wèn)題的解答啦當然,如果你還有更多想要了解可以關(guān)注私信我們,我們也會(huì )竭力為您解答。感謝您的閱讀,咱們下次再見(jiàn)!
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