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LED外延片生產(chǎn)(MOCVD)工藝含氨含氫尾氣處理設備

2020-12-23 09:33:26    責任編輯: 尾氣處理設備制造廠(chǎng)商     0

LED外延片生產(chǎn)過(guò)程中金屬有機物化學(xué)氣相沉積(MOCVD)工藝會(huì )產(chǎn)生大量廢氣,其主要成分為氨氣NH3、氫氣H2,二者均是重要的生產(chǎn)原料,回收利用價(jià)值高,不能直排,須通過(guò)尾氣處理設備進(jìn)行無(wú)害化處理,方可通入大氣。



目前,工業(yè)上尾氣處理設備的常用的方法有燃燒法、水吸收法和化學(xué)法等,以及這些方法的組合應用等。

1、燃燒法

MOCVD廢氣中的H2、氫化物、金屬有機化合物等可采用燃燒法處理,同時(shí)氨氣在高溫下發(fā)生氧化分解反應,生成無(wú)害的CO2, N2和H2O等。

2、水吸收法

水吸收法是MOCVD廢氣處理最常用的方法,廢氣中少量的MO源成分經(jīng)水吸收后可完全去除;同時(shí)NH,易被吸收形成氨水,但仍有少量殘留,不能直接排放,且H2需要進(jìn)一步處理。

3、化學(xué)法(酸吸收法)

化學(xué)法采用化學(xué)試劑與廢氣中的氨發(fā)生化學(xué)反應生成較為穩定的化學(xué)物質(zhì)后沉淀分離,使得廢氣中的NH3得到脫除。


關(guān)于各類(lèi)廢氣處理方法和尾氣處理設備,皆有優(yōu)缺點(diǎn)和適用范圍。如以上三種方法都可使廢氣達標,但在資源回收上都各有些欠缺:(1)燃燒法不能回收NH3和H2,資源浪費嚴重;(2)水吸收法能得到低濃度氨水產(chǎn)品,但一般需提濃處理后才能回用于工業(yè)生產(chǎn);(3)酸吸收法回收得到銨鹽溶液,需進(jìn)--步分離和提純才形成銨鹽產(chǎn)品,而銨鹽分離提純過(guò)程存在能耗大、費用高等問(wèn)題,且銨鹽品質(zhì)有待提高。



在尾氣處理設備中還有一種Local Scrubber的小型尾氣處理時(shí)設備,處理小流量廢氣,為就近初步處理工藝廢氣,避免廢氣在管道中滯留發(fā)生變化導致事故,有時(shí)也作為廢氣應急設備。其中,吸附式的尾氣處理設備就是采用種類(lèi)多樣的吸附材(吸附劑)來(lái)吸附所要處理廢氣中的氣體組分,有幾乎可處理所有廢氣,處理效率高、處理過(guò)程中無(wú)明火、無(wú)廢水和低耗能等特點(diǎn)。


綜上,LED外延片生產(chǎn)過(guò)程中金屬有機物化學(xué)氣相沉積(MOCVD)工藝廢氣中含有大量NH3和H2,須通過(guò)尾氣處理設備中處理方法凈化后方可排入大氣。最后,感謝您的閱讀!